- Surface chemistry of Ru : relevance to optics lifetime in EUVL
Opis
- Tytuł: Surface chemistry of Ru : relevance to optics lifetime in EUVL
- Tytuł czasopisma: Proceedings of SPIE
- Twórca: Wasielewski, R ; Yakshinskiy, B. V ; Hedhili, M. N ; Ciszewski, Antoni ; Madey, T. E
- Strony: nr art. 653316
- Opis: Materials of 23rd European Mask and Litography Conference, Grenoble, France, 22 January 2007.
- Język Abstraktu: eng
- Data wydania: 2007
- Typ: Tekst
- Język publikacji: eng
- Szczegółowy typ obiektu: art
- Typ obiektu: Artykuł
- Tom/Wolumen/Zeszyt: Vol. 6533 (2007)